公告摘要：
微納米級定位運(yùn)動組件采購信息公開
一、項(xiàng)目名稱/貨物名稱：微納米級定位運(yùn)動組件 二、預(yù)算金額：99000元 三、列出主要技術(shù)指標(biāo)/性能要求，如對貨期有要求也請?zhí)岢觥?行程：▲≥160mm，▲≤分辨力1nm，▲定位誤差≤±4μm，★平面度≤±1.5μm，★直線度≤±1.5μm，▲最大速度≥300mm/s......
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微納米級定位運(yùn)動組件采購信息公開
一、項(xiàng)目名稱/貨物名稱：微納米級定位運(yùn)動組件 二、預(yù)算金額：99000元 三、列出主要技術(shù)指標(biāo)/性能要求，如對貨期有要求也請?zhí)岢觥?行程：▲≥160mm，▲≤分辨力1nm，▲定位誤差≤±4μm，★平面度≤±1.5μm，★直線度≤±1.5μm，▲最大速度≥300mm/s......
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