公告摘要：
北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院光刻版采購(gòu)公告
1. （1）采購(gòu)貨物有關(guān)信息 設(shè)備或材料名稱/參數(shù)/數(shù)量/交貨期/交貨地點(diǎn)/是否接受進(jìn)口產(chǎn)品 設(shè)備或材料名稱：光刻版； 參數(shù)及數(shù)量 光刻版參數(shù) 掩模版投影 掩模型號(hào) I-line保護(hù)膜 CD設(shè)計(jì)線寬 線寬精度（μm） 線寬均值偏差（μm） 對(duì)準(zhǔn)偏......
